Avant le nettoyage cryogénique, nous retirions le revêtement conforme à l’aide de produits chimiques et de pistolets thermiques. Ce processus était long et fastidieux. Le nettoyage cryogénique permet d’éliminer rapidement le revêtement sans générer de déchets secondaires.
Nettoyage cryogénique pour optimiser les lignes de production de semi-conducteurs
Le nettoyage cryogénique élimine les principaux problèmes de nettoyage qui impactent la performance des lignes de production de semi-conducteurs.
Non abrasif et non conducteur, le nettoyage cryogénique protège les surfaces des composants sensibles sans les endommager. Le procédé ne génère aucun flux de déchets secondaires, n’introduit ni produits chimiques ni humidité dans l’environnement de production, ce qui en fait une solution idéale pour les salles blanches et environnements contrôlés.
Le nettoyage des pièces et équipements de semi-conducteurs par cryogénie permet de décontaminer les outils directement en place, sans démontage. Il offre une élimination ultra-précise des contaminants (particules, résidus, films, dépôts) et contribue à réduire la contamination en aval, tout en optimisant la disponibilité des équipements et les rendements de production.
Prêt à optimiser vos procédés de nettoyage dans l’industrie des semi-conducteurs ?
Contactez nos experts pour découvrir comment le nettoyage cryogénique à la glace carbonique peut sécuriser vos processus, réduire les arrêts de production et améliorer vos performances globales.
Quels sont les avantages du nettoyage cryogénique dans la fabrication des semi-conducteurs ?
La cryogénie offre des résultats supérieurs pour la chaîne de fabrication des semi-conducteurs en améliorant l’efficacité des processus, la qualité des produits et la durée de vie des équipements.
Le nettoyage à la carboglace améliore de manière constante l’efficacité de la production dans toutes les opérations liées aux semi-conducteurs. Qu’il s’agisse de nettoyer des réacteurs CVD, de décontaminer des outils de dépôt, de nettoyer des pièces de semi-conducteurs ou de nettoyer des équipements de moulage de semi-conducteurs, cette méthode est plus rapide et plus efficace que les méthodes traditionnelles. Elle améliore la qualité des composants tout en réduisant les défauts et les pièces rejetées. Comme la glace carbonique se sublime instantanément au contact, elle ne laisse aucun résidu ni déchet secondaire, garantissant ainsi des composants semi-conducteurs ultra-propres.
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Efficacité de fabrication améliorée
Le nettoyage à la glace carbonique permet un nettoyage et une décontamination rapide des équipements sur place, sans démontage ni temps de refroidissement. Le processus de nettoyage des semi-conducteurs élimine instantanément les contaminants, permettant ainsi une reprise immédiate du traitement. Le nettoyage à la glace carbonique dans la fabrication des semi-conducteurs est souvent automatisé et intégré aux processus de production existants, ce qui réduit considérablement les temps d’arrêt et augmente la production.
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Procédé de nettoyage non abrasif
Le nettoyage cryogénique est un procédé de nettoyage non abrasif et non destructif. Le procédé de nettoyage des composants semi-conducteurs n’endommage pas les équipements critiques et préserve l’intégrité des spécifications du produit fini. Cette méthode n’altère pas les dimensions précises et les détails complexes des semi-conducteurs, des plaquettes ou des composants d’outillage. Grâce au nettoyage cryogénique, vous pouvez obtenir une propreté parfaite sans affecter les finitions de surface ou les caractéristiques délicates.
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Résultats de nettoyage sans contamination
La carboglace se sublime instantanément lorsqu’elle entre en contact avec une surface, sans générer de déchets secondaires. Aucun résidu chimique, aucune humidité ni aucun contaminant ne subsiste sur les composants ou les équipements, ce qui empêche la contamination croisée et garantit la haute qualité des composants. Cela permet de maintenir les conditions optimales indispensables aux étapes de traitement suivantes.
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Procédé non conducteur
La glace carbonique est non conductrice, ce qui en fait une méthode sûre pour le nettoyage des composants semi-conducteurs et des composants et outils sensibles. La glace carbonique minimise le risque de décharge électrostatique, qui peut endommager les composants semi-conducteurs sensibles.
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Amélioration de la qualité des produits
En éliminant complètement les particules microscopiques, les huiles, la poussière, les empreintes digitales et autres résidus, le nettoyage cryogénique permet de maintenir un niveau de propreté optimal, essentiel pour prévenir les défauts et garantir la qualité et la fonctionnalité du produit semi-conducteur final.
Que peut nettoyer la cryogénie dans la fabrication de semi-conducteurs ?
Le nettoyage cryogénique est une solution de nettoyage complète qui permet de maintenir la pureté et l’efficacité à chaque étape de la chaîne de la fabrication des semi-conducteurs.
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Production de polysilicium et de matières premières
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Fabrication de plaquettes
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Fabrication et assemblage de semi-conducteurs
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Fabrication et assemblage de circuits imprimés
Décontamination des réacteurs CVD de production de polysilicium grâce au nettoyage cryogénique
Bénéficiez d’un processus de nettoyage plus sûr, plus efficace et plus pur.
Les fabricants de silicium polycristallin doivent empêcher l’accumulation de silicium et de poussières à l’intérieur de leurs réacteurs CVD. Les méthodes de nettoyage traditionnelles (haute pression, récurage manuel avec produits chimiques) sont lentes, peu efficaces et risquées : elles exposent les opérateurs à des produits dangereux, peuvent endommager des équipements coûteux et génèrent des déchets secondaires nécessitant une élimination complexe. Résultat : des temps d’arrêt prolongés, une pureté de produit compromise et une baisse du rendement.
Le nettoyage cryogénique des réacteurs CVD offre une alternative plus sûre et plus performante. Il élimine rapidement les dépôts sans abîmer les surfaces internes, préserve l’intégrité des équipements et supprime l’usage de solvants agressifs. Sans déchets secondaires, il réduit les risques de contamination en aval, diminue les impuretés et limite les taux de rebut, tout en améliorant la sécurité des travailleurs et l’impact environnemental.
Nettoyage des plaquettes de silicium par cryogénie
Le nettoyage cryogénique permet un nettoyage non abrasif pour la fabrication de plaquettes de haute pureté.
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Nettoyage des chambres à plaquettes et des outils de traitement
La nature délicate et complexe des équipements de fabrication de plaquettes – chambres à plaquettes, outils de dépôt, équipements de polissage – exige une méthode de nettoyage très efficace et totalement non destructive. Le nettoyage cryogénique est idéal : il élimine les contaminants sans rayer ni altérer les surfaces précises de ces composants critiques. Ce procédé assure un nettoyage en profondeur des pièces complexes, garantit l’intégrité des outils et le maintien de leurs performances optimales.
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Décontamination des fixations et des surfaces revêtues de plasma
Après les processus de revêtement plasma pour les micropuces ou l’utilisation de composés de polissage sur les surfaces de chambres en aluminium revêtues de téflon, un environnement propre et sans résidus est indispensable pour éviter les défauts. Les méthodes de nettoyage traditionnelles peuvent être trop agressives ou laisser des résidus chimiques responsables de contamination croisée. Le nettoyage cryogénique, non abrasif et sans déchets secondaires, élimine efficacement les accumulations tenaces et les composés de polissage sur les fixations et surfaces des chambres, garantissant le plus haut niveau de pureté pour les étapes de production suivantes. -
Entretien des pompes à vide et des implanteurs
Essentiels au processus de fabrication des plaquettes, les pompes à vide et les implanteurs sont sensibles à la contamination par les sous-produits du procédé. L’accumulation de ces matériaux dégrade les performances et provoque des temps d’arrêt imprévus. Le nettoyage cryogénique offre une solution sûre et efficace pour ces équipements spécialisés. Réalisé sur place, sans démontage, ce procédé entièrement sec réduit le temps de maintenance et protège ces systèmes sensibles et coûteux des dommages associés aux techniques de nettoyage conventionnelles.
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Élimination des résidus de pâte à polir des composants de la chambre par carboglace
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Élimination du photorésist et de l'agent de polissage par nettoyage cryogénique
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Nettoyage automatisé à la glace carbonique pour la décontamination des pièces
Nettoyage cryogénique pour la fabrication et l’assemblage de semi-conducteurs
La cryogénie est une méthode de nettoyage des semi-conducteurs non abrasive, sèche et sans résidus.
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Nettoyage des moules et des matrices
Les contaminants comme les accumulations de cire et de gaz encrassent les moules et matrices pour semi-conducteurs, compromettant l’intégrité des supports de micropuces et des composants moulés. Les méthodes de nettoyage traditionnelles sont longues et nécessitent refroidissement et récurage manuel. Le nettoyage cryogénique permet de nettoyer les moules et matrices sur place, encore chauds, en éliminant efficacement les dépôts sans endommager l’outillage, ce qui réduit les temps d’arrêt et maintient une qualité de production constante.
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Post-traitement et finition des puces
Après le moulage et la découpe laser, les composants semi-conducteurs peuvent présenter des débris (bavures plastiques, adhésifs) qui nuisent aux performances ou aux étapes suivantes. Le nettoyage cryogénique est idéal pour le nettoyage après traitement : non abrasif, il élimine les débris sans abîmer les bords ni les surfaces délicates des puces. Ce nettoyage ciblé améliore la qualité du produit fini et garantit que les composants propres et précis sont prêts pour l’étape suivante.
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Nettoyage des composants et entretien général
Le nettoyage cryogénique est très efficace pour l’entretien général d’une large gamme d’équipements et de composants. Rapide et performant, il élimine les contaminants des machines avec un procédé entièrement sec et non conducteur, permettant de nettoyer en sécurité faisceaux électriques et connecteurs sans risque d’eau ou de court-circuit. Cette polyvalence aide à garder les équipements d’assemblage et de fabrication en excellent état, prolonge leur durée de vie et réduit les temps d’arrêt de maintenance.
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Nettoyage de la matrice après le processus de moulage des micropuces
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Nettoyage automatisé pour éliminer les débris des bords des micropuces découpées au laser
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Nettoyage cryogénique des moules de semi-conducteurs encrassés de cire et de gaz
Nettoyage de circuits imprimés à l’aide de la cryogénie
Le nettoyage cryogénique est une méthode non conductrice et sans résidus permettant un nettoyage de haute pureté.
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Élimination des résidus de flux de soudure et des contaminants
Lors de la fabrication des circuits imprimés, des résidus de flux, billes de soudure et fils soudés à froid peuvent rester et provoquer courts-circuits et défaillances. Le nettoyage cryogénique permet d’éliminer ces contaminants de façon sûre et efficace. Non conducteur et sans résidus, il préserve l’intégrité des cartes et composants sans générer de déchets secondaires, idéal pour le nettoyage des circuits imprimés, broches pogo et dispositifs ICT.
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Préparation des surfaces et élimination des revêtements
Le nettoyage cryogénique enlève efficacement poussière, résidus de flux, huiles et humidité avant l’application d’un revêtement conforme. Cette méthode non abrasive permet aussi l’élimination sélective des revêtements lors des retouches et réparations, offrant aux fabricants de circuits imprimés une solution polyvalente qui préserve les composants tout en garantissant des surfaces optimales pour les étapes suivantes.
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Entretien général et nettoyage des composants
Le nettoyage cryogénique est très efficace pour l’entretien des équipements de production. Il enlève les revêtements conformes des dispositifs de pulvérisation, la rouille superficielle des faisceaux électriques et connecteurs, ainsi que les contaminants sur disques de support en céramique et composants de boîtiers à vide. Réalisé sur place, sans eau ni produits chimiques, il réduit les temps d’arrêt de maintenance et maintient les équipements critiques propres et opérationnels.
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Nettoyage des résidus de flux sur le circuit imprimé à l'aide de la cryogénie
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Élimination des dépôts de scories sur les palettes de soudure de vague par cryogénie
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Nettoyage des circuits imprimés après soudage à l'aide de la cryogénie
De quoi ont besoin les fabricants de semi-conducteurs pour le nettoyage avec la glace carbonique?
La mise en œuvre de la technologie du nettoyage cryogénique dans votre usine de fabrication de semi-conducteurs nécessite plusieurs éléments clés :
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Nettoyeur cryogénique
Tout processus de nettoyage des semi-conducteurs repose sur un système de nettoyage à la glace carbonique capable de répondre aux exigences strictes de l’industrie. Cold Jet propose des machines de nettoyage cryogéniques avancées, dotées de la connectivité IoT et de notre système exclusif de contrôle des particules (PCS®). Cette technologie permet un réglage précis des paramètres de nettoyage et de la taille des particules, pour une préparation en douceur des surfaces comme pour une élimination intensive des contaminants. Chaque machine est fournie avec des tuyaux de projection et d’air dédiés, un applicateur et des buses spécifiques à l’application.
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Air comprimé
Les installations de semi-conducteurs peuvent exploiter leurs réseaux d’air comprimé filtré existants. La machine de nettoyage à glace carbonique pour semi-conducteurs de Cold Jet fonctionne généralement à 2,8 m³/min à 5,5 bar, ce qui facilite son intégration.
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Approvisionnement en glace carbonique
L’accès à une glace carbonique de haute qualité garantit la continuité du nettoyage avec votre équipement pour semi-conducteurs. La consommation moyenne est d’environ 40 kg/heure, selon l’application et le niveau de contamination. Notre équipe peut vous mettre en relation avec des fournisseurs qualifiés et vous aider à planifier des livraisons synchronisées avec vos cycles de fabrication.
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Formation des machines et des opérateurs
Une mise en œuvre efficace nécessite une formation approfondie des opérateurs aux techniques de nettoyage cryogénique spécifiques aux environnements semi-conducteurs. Cold Jet propose une formation spécialisée qui couvre les procédures d’utilisation appropriées et les pratiques de sécurité complètes adaptées aux environnements de fabrication de semi-conducteurs et aux salles blanches.
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Équipement de protection individuelle (EPI)
Lors de l’utilisation de votre machine de nettoyage à glace carbonique pour semi-conducteurs, le personnel chargé du nettoyage doit utiliser un équipement de protection approprié, notamment des gants, des protections auditives et des lunettes de sécurité.
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Système de nettoyage automatisé (en option)
De nombreuses applications de nettoyage à la glace carbonique dans le domaine des semi-conducteurs impliquent une intégration automatisée dans les flux de production existants. Les solutions automatisées complètes comprennent un équipement de production de glace carbonique, une ou plusieurs machines de nettoyage cryogénique et un système de manutention robotisé pour un fonctionnement sans faille au sein des chaînes de fabrication de semi-conducteurs.
Quelle est la meilleure machine de nettoyage cryogénique pour les semi-conducteurs ?
Cold Jet propose une gamme complète de machines de nettoyage cryogénique pour semi-conducteurs. Nos machines intuitives, durables et portables sont idéales pour les opérations en salle blanche et les installations de fabrication de semi-conducteurs.
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i3 MicroClean 2
L'i3 MicroClean 2 offre une technologie de nettoyage de précision de pointe optimisée pour les applications semi-conductrices. Cette machine de nettoyage cryogénique avancée combine une utilisation conviviale et une architecture compacte et légère. Les paramètres de nettoyage idéaux peuvent être réglés avec précision pour chaque application. L'i3 MicroClean 2 peut être intégrée comme solution automatisée.
i3 MicroClean® 2 -
i3 MicroClean
Le i3 MicroClean offre une efficacité exceptionnelle dans un boîtier compact, démontrant des performances remarquables dans diverses applications de nettoyage et d'élimination de la contamination dans les environnements semi-conducteurs. Le i3 MicroClean peut être intégré dans un processus de nettoyage en tant que solution automatisée.
i3 MicroClean® -
Aero2 PCS ULTRA
L'Aero2 PCS ULTRA, polyvalent pour les semi-conducteurs, offre un nettoyage précis (MicroParticules) ou intensif (pellets 3 mm). Ce système cryogénique avancé est prêt pour une intégration et une automatisation de vos processus.
L’Aero2 PCS® ULTRA
Quels sont les avantages d’investir dans les machines Cold Jet pour la fabrication de semi-conducteurs ?
Lorsque vous modernisez vos procédés de nettoyage dans la fabrication de dispositifs à semi-conducteurs, l’adoption de la technologie de nettoyage à la glace carbonique de Cold Jet représente un investissement stratégique qui améliore vos performances opérationnelles.
Dans l’évaluation de cet investissement, il est essentiel de prendre en compte à la fois le retour sur investissement et les avantages concurrentiels significatifs offerts par le nettoyage à la glace carbonique. Les nettoyeurs cryogéniques Cold Jet offrent systématiquement des délais de rentabilité plus rapides et une valeur à long terme supérieure à celles des autres technologies de nettoyage industriel.
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Expertise en nettoyage des semi-conducteurs
Cold Jet a développé une expertise inégalée dans la résolution des problèmes complexes de nettoyage et le respect des normes rigoureuses qui caractérisent les environnements de fabrication des semi-conducteurs.
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Reconnu par les fabricants de semi-conducteurs
Avec plus de 24 000 machines déployées dans le monde entier, y compris dans des usines de fabrication de semi-conducteurs de premier plan, Cold Jet s’est imposé comme le partenaire privilégié pour les applications de nettoyage critiques dans la fabrication de puces et le traitement des plaquettes.
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Une fiabilité à la pointe de l’industrie
Nos équipements de nettoyage à la glace carbonique pour semi-conducteurs sont spécialement conçus pour résister aux exigences rigoureuses des environnements de production de semi-conducteurs. Les nettoyeurs cryogéniques Cold Jet offrent une fiabilité supérieure et une durée de vie opérationnelle prolongée par rapport à leurs concurrents, garantissant ainsi un temps d’arrêt minimal.
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Coûts d’exploitation réduits
Les machines Cold Jet sont conçues pour offrir une efficacité maximale, en utilisant beaucoup moins de glace carbonique, d’air comprimé et d’électricité que les machines concurrentes. Cela permet de réduire vos dépenses d’exploitation courantes.
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Assistance et service inégalés
Nos techniciens de maintenance sur site fournissent une assistance technique immédiate en cas de besoin. Nous proposons des programmes de maintenance préventive et des formations complètes pour les opérateurs afin d’optimiser l’efficacité de votre équipe et les performances du nettoyeur cryogénique.
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Accessoires spécifiques à chaque application
Notre catalogue complet de composants spécialisés, comprenant des applicateurs de précision, des tuyaux de projection et des buses spécifiques à chaque processus, vous permet de configurer la solution de nettoyage idéale pour votre application unique de nettoyage de semi-conducteurs.
NOS CLIENTS ET CE QU’ILS DISENT DE NOUS
Les fabricants de semi-conducteurs du monde entier font confiance à Cold Jet
Avec plus de 24 000 installations à travers le monde, nos solutions vont des machines de nettoyage cryogénique portatives aux solutions robotiques entièrement automatisées utilisées pour décontaminer divers équipements utilisés dans la chaîne de valeur de la fabrication des semi-conducteurs.
NOUS SOMMES LÀ POUR VOUS AIDER.
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Contactez-nous dès aujourd’hui pour en savoir plus sur le nettoyage cryogénique pour votre application ou industrie spécifique.